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光行天下 -> 投影系統(tǒng)光學(xué)設(shè)計 -> 投影系統(tǒng) [點此返回論壇查看本帖完整版本]

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clgxy123	2021-03-20 09:16
投影系統(tǒng) 我自己算指標(biāo)，算出來投影系統(tǒng)的F數(shù)是0.4，但是看別人的F數(shù)最小也是1.2，我想知道這個F數(shù)大概多少合適，該怎么調(diào)整

沙突兀	2021-03-20 10:00
F數(shù)0.4你知道是什么概念嗎，艾里斑半徑是300nm，很大一部分顯微鏡物鏡都沒到這么小的F數(shù)，你算的必然有問題。除非你是要搞光刻

koono	2021-10-22 16:55
1.7左右已經(jīng)可以達到2k的分辨率了

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