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2021-04-07 10:15 |
GLAD:部分相干光模擬
概述 ;N!n06S3 MeV4s%*O+ 一個(gè)理想的單色點(diǎn)光源發(fā)射的光是完全相干光。但實(shí)際物理光源不是點(diǎn)源,總是具有一定的空間尺度并包含眾多輻射單元,其發(fā)出的光也非嚴(yán)格的單色光,其光譜具有一定寬度,這種光即部分相干光。產(chǎn)生部分相干光主要有三種方法: x?6^EB|@ fm^tU0DY (1)降低激光的相干性來(lái)獲得部分相干光。用動(dòng)態(tài)散射體降低激光的相干性,通過(guò)控制散射體的性質(zhì)來(lái)控制散射體后光束的相干性。(2)利用Van-Citter-Zernike定理使擴(kuò)展光源發(fā)出的非相干光成為部分相干光。(3)將一些互不相干的激光本征模疊加來(lái)產(chǎn)生部分相干光束。 S%]4['Y 2hntQ1[ 系統(tǒng)描述 'lC=k7@x 4cm~oZ 本例介紹了如何上述第二種方法來(lái)實(shí)現(xiàn)部分相干光的建模。如圖1所示,整體結(jié)構(gòu)是一個(gè)科勒照明系統(tǒng)。一個(gè)聚光元件將非相干光源傳遞到轉(zhuǎn)像透鏡的入瞳處。非相干光源照亮物體掩膜面,并在最后的像面上得到適當(dāng)放大的像。為了對(duì)光束合理采樣,光源放在物體掩膜的共軛面處,以便光源具有一定的尺寸,而不是理想點(diǎn)光源。對(duì)于具有一定尺寸的光源,它所成的像就是部分相干的。當(dāng)光源大到可以填滿轉(zhuǎn)像透鏡入瞳時(shí),其所成的像就將是非相干的。 pkIQ,W{Ke 8oHIXnK ]
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