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Runsheet和Monitorlink Enhancements
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infotek
2021-05-11 09:44
Runsheet和Monitorlink Enhancements
W" !amMQ
•對反射和透射監(jiān)控計算光學信號
UA9LI<Y
•當膜層沉積時,動態(tài)加工因子(Dynamic Tooling Factors)可以不同
{+[gf:Ev
•信號數(shù)據(jù)可以適應自定義范圍
IW1\vfe
•對每個膜層,監(jiān)控波長和帶寬都可以改變
.Ep3~9TBW
•對每個膜層可以用不同的校驗芯片
!K 9(OX2;
•Monitorlink 可以將沉積設計反映到光學和晶體監(jiān)控上
O.E0LCABC
•監(jiān)控數(shù)據(jù)的圖表可以為手動監(jiān)控打印出來
6~8 RFf"
Runsheet和Monitorlink特點
AFFLnLA<L
RUNSHEET操作
sWC"^ S
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