| infotek | 2021-05-11 10:35 |
JCMSuite應(yīng)用--線型光柵這是一個一維周期線光柵的簡單例子。周期單元包含了光柵的2D橫截面。在這種情況下，線型的橫截面具有梯形形狀，它位于襯底上并被背景材料包圍。示例中的材質(zhì)選擇為鉻(線)、玻璃(襯底)和空氣(背景)。  光柵由s偏振和p偏振的平面波照射。JCMSuite計算近場分布。下圖顯示了從襯底一側(cè)以193 nm波長垂直入射的結(jié)構(gòu)內(nèi)的近場強度。  S偏振照明的近場強度  P偏振照明的近場強度 傅立葉變換后處理計算透射衍射級的振幅。 | |