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infotek

2021-06-22 09:51

白光邁克爾遜干涉儀

1. 摘要

白光干涉儀是一種非接觸測量技術(shù)，用于如表面輪廓或微小位移的高精度測量。利用一個(gè)邁克爾遜干涉儀系統(tǒng)和一個(gè)氙燈光源在VirtualLab Fusion中仿真了一個(gè)白光干涉儀。建模中考慮光源中有限相干長度等光譜特性，結(jié)果表明只有當(dāng)兩臂的路徑長度基本相同時(shí)才會(huì)出現(xiàn)干涉圖樣。