| ka2012 |
2021-06-22 11:41 |
離軸非球面的條紋反射檢測技術
條紋反射測量技術具有動態(tài)范圍大、靈敏度高的特點，通過高精度的系統(tǒng)標定可以獲得很高的測量精度。本文研究將條紋反射測量技術應用于離軸非球面反射鏡粗拋光階段的面形檢測，使用激光跟蹤儀建立檢測系統(tǒng)坐標系，然后將相機和顯示屏的實測標定數(shù)據(jù)代入坐標系并在Zemax軟件中建立測量裝置的理想模型，通過光線追跡得到理想的屏幕像素點位置，采用相移技術可以得到實測時屏幕像素點位置，從而計算得到被測鏡面形的斜率誤差，最后積分得到檢測結果。文中采用該方法對一塊SiC離軸非球面鏡進行了實測，并與三坐標測量機的結果進行對比，驗證了方法的可行性，可用于指導離軸非球面鏡粗拋光階段的加工。
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