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infotek 2021-06-28 11:36

分析高數(shù)值孔徑物鏡的聚焦

摘要 [ *Dj7z t:  
He,, bq  
高數(shù)值孔徑物鏡廣泛用于光學光刻、顯微鏡等。因此,在聚焦模擬中考慮光的矢量性質(zhì)是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持這種鏡頭的光線和光場追跡分析。 通過光場追跡,可以清楚地展示不對稱焦斑,這源于矢量效應。 照相機探測器和電磁場探測器為聚焦區(qū)域的研究提供了充分的靈活性,并且可以深入了解矢量效應。 ph}%Ay$  
 qJ sH  
6P3h955c  
,Nt^$2DZW  
建模任務 FDFwx|  
-woFKAy`  
zYrJ Hn#vB  
[^Bjmw[7  
入射平面波 M^*\ $K%  
波長 2.08 nm m/Erw"Z  
光斑直徑: 3mm p}3` "L=  
沿x方向線偏振 =z;]FauR!  
RIQ-mpg~(k  
如何進行整個系統(tǒng)的光線追跡分析? CT5s`v!s  
如何計算包含矢量效應的焦點的強度分布? oYdE s&qq  
G^N@ r:RS  
概覽 hxzA1s%~  
•樣品系統(tǒng)預設為包含高數(shù)值孔徑物鏡。 ,PmUl=  
•接下來,我們將演示如何按照VirtualLab中推薦的工作流程對樣本系統(tǒng)進行模擬。 GeDI\-  
C{,^4Eh3r  
   {G0=A~  
光線追跡模擬 D2g/P8.<A  
•首先選擇“光線追跡系統(tǒng)分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作為模擬引擎。 NT0n [o^  
•點擊Go! PtYG%/s  
•獲得3D光線追跡結果。 Y)DAR83  
t7l{^d_L  
7O'.KoMw  
   <}:` Y"  
光線追跡模擬 ]=VRct "  
•然后,選擇“光線追跡”(Ray Tracing)作為模擬引擎。 5RvE ),  
•單擊Go! zz[fkH3  
•結果,獲得點圖(2D光線追跡結果)。 N2k<W?wQ  
&e6UEG  
UOsK(mB  
r<vy6  
光場追跡模擬 q\}+]|nGs  
•切換到“第二代場追跡”(Field Tracing 2nd Generation)作為模擬引擎。 i(pHJP:a:  
•單擊Go! ]+46r!r|  
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