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分析高數(shù)值孔徑物鏡的聚焦
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infotek
2021-06-28 11:36
分析高數(shù)值孔徑物鏡的聚焦
摘要
[ *Dj7zt:
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高數(shù)值孔徑物鏡廣泛用于光學光刻、顯微鏡等。因此,在聚焦模擬中考慮光的矢量性質(zhì)是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持這種鏡頭的光線和光場追跡分析。 通過光場追跡,可以清楚地展示不對稱焦斑,這源于矢量效應。 照相機探測器和電磁場探測器為聚焦區(qū)域的研究提供了充分的靈活性,并且可以深入了解矢量效應。
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建模任務
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入射平面波
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波長 2.08 nm
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光斑直徑: 3mm
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沿x方向線偏振
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如何進行整個系統(tǒng)的光線追跡分析?
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如何計算包含矢量效應的焦點的強度分布?
oYdE s&qq
G^N@r:RS
概覽
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•樣品系統(tǒng)預設為包含高數(shù)值孔徑物鏡。
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•接下來,我們將演示如何按照VirtualLab中推薦的工作流程對樣本系統(tǒng)進行模擬。
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C{,^4Eh3r
{G0=A~
光線追跡模擬
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•首先選擇“光線追跡系統(tǒng)分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作為模擬引擎。
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•點擊Go!
PtYG%/s
•獲得3D光線追跡結果。
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光線追跡模擬
]=VRct "
•然后,選擇“光線追跡”(Ray Tracing)作為模擬引擎。
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•單擊Go!
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•結果,獲得點圖(2D光線追跡結果)。
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UOsK(mB
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光場追跡模擬
q\}+]|nGs
•切換到“第二代場追跡”(Field Tracing 2nd Generation)作為模擬引擎。
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•單擊Go!
]+46r!r|
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