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光行天下 -> FRED,VirtualLab -> 衍射光學(xué)元件的產(chǎn)生及其結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù)的輸出 [點此返回論壇查看本帖完整版本] [打印本頁]

infotek 2021-08-10 10:23

衍射光學(xué)元件的產(chǎn)生及其結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù)的輸出

本案例計算從傳輸中得到的衍射光學(xué)元件的高度分布和結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù)的產(chǎn)生 acY[?L_6J  
關(guān)鍵詞:衍射光學(xué),衍射光學(xué)元件,結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù),GDSIIASCII,位圖 X&.$/xaT  
所需工具箱:Diffractive Optics Toolbox BasicTutorial在試用版本中不可用。聯(lián)系LightTrans或者當(dāng)?shù)亟?jīng)銷商可申請一段全版本的試用。 B:4qW[U#  
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建模任務(wù) O^weUpe\  
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照射光束強(qiáng)度               衍射擴(kuò)散器                                              產(chǎn)生的光圖樣強(qiáng)度 "!6~*!]c  
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建模任務(wù) AdOAh y2H  
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2       擴(kuò)散器參數(shù): Y~hd<8 ~  
—相位層:4 )^S^s >3  
—像素尺寸:830*830nm 6XL9 qb~X  
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—口徑:1*1mm ;To+,`?E;q  
—周期:664,83*664,83um ":#x\;  
2       結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù)輸出為二進(jìn)制格式 j_uY8c>3\q  
2       需要的高度分布計算 {C0^D*U:  
2       蝕刻掩模分解 u|>U`[Zpj  
2       蝕刻掩模輸出為位圖和GDSII文件 rI66frbj  
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