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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計,工藝與設(shè)備 -> 8微米氟化鎂膜成膜問題 [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本]

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starofage	2021-08-12 16:53
8微米氟化鎂膜成膜問題最近功能性需求需要鍍8微米的氟化鎂膜，用的電子槍蒸發(fā)，鍍完后表面全部像雪花一樣掉膜，是什么原因啊？有什么改善方法？

ouyuu	2021-08-19 20:59
氟化鎂可以用阻蒸，速度快一點(diǎn)，溫度高一點(diǎn)。

a013109425	2021-08-21 17:13
是否鍍膜真空過高

驀然知回路	2021-08-24 16:32
make一下

starofage	2021-08-27 09:23
ouyuu:氟化鎂可以用阻蒸，速度快一點(diǎn)，溫度高一點(diǎn)。 (2021-08-19 20:59) UOHU1.3$T V{@ xhW0 是基片溫度高點(diǎn)嗎？我加的300°

starofage	2021-08-27 09:25
a013109425:是否鍍膜真空過高 (2021-08-21 17:13) TxAT )) #PUvrA2Zl 真空度1-2x10-3pa

囊中蓄乾坤	2021-10-19 13:08
這個材料用的少不清楚

fly6947	2022-01-04 09:35
MGF2應(yīng)力太大了超過2um風(fēng)險就比較大，溫度降低，用阻蒸做，可適當(dāng)改善

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