Runsheet和Monitorlink Enhancements
•對反射和透射監(jiān)控計算光學信號 Mu`_^gG •當膜層沉積時,動態(tài)加工因子(Dynamic Tooling Factors)可以不同 8m' f8.x •信號數據可以適應自定義范圍 +I5\`By= •對每個膜層,監(jiān)控波長和帶寬都可以改變 I= :yfW •對每個膜層可以用不同的校驗芯片 agwbjkU/ •Monitorlink 可以將沉積設計反映到光學和晶體監(jiān)控上 GEy7Vb) •監(jiān)控數據的圖表可以為手動監(jiān)控打印出來 o`Z3} Runsheet和Monitorlink特點 `uPO+2 RUNSHEET操作 wwdmz;0S 要建立一個runsheet, 在Essential Macleod中打開一個空白表格, 指定設計和機器配置,然后點Calculate。 Runsheet會自動指定光源、使用加工因子,計算信號。用戶可以改變所以參數中任何一個,如指定光源、監(jiān)控芯片、波長、帶寬。點擊Calculate,run sheet立即更新。除了計算機的容量以外,對膜層數、芯片數等沒有實際限制。 tZ62T{, a Runsheet計算信號偏移的表格和曲線。通過可以應用到單個膜層的0偏移和放大的控制,可以適應自定義的范圍。根據信號的水平和最后一個峰-峰偏移的比例,表格中出現膜層終止信息。 rR@]`@9
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