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infotek 2021-09-15 09:27

JCMSuite應(yīng)用—衰減相移掩模

在本示例中,模擬了衰減相移掩模。 該掩模將線/空間圖案成像到光刻膠中。 掩模的單元格如下圖所示: ^ ' )4RU  
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