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2021-09-17 09:47 |
粗糙表面光柵的模擬
案例87.01:粗糙表面光柵的模擬 /`YHPeXu ,
4Vr,?"EO 即將模擬一個具有隨機粗糙表面的正弦光柵。此模擬是通過使用VirtualLab中的一般二維光柵(General Grating 2D)元件堆棧中的可編程光學界面來完成的。 ?d)I!x,;; `Z*k M VN 關鍵詞:光柵,光柵工具箱,粗糙表面,可編程光學界面,光柵元件 E"D+CD0 ] 8sVXZ 要求工具箱:光柵工具箱 x?0ZzB), \e%H5Wx 相關應用案例:案例090.01,案例246.01 >y%*HC!G 1=x4m=wV 一、模擬任務: }v[*V 二、光柵的描述 ~U+SK4SK:o eJ+V!K'H2 1. 原始表面輪廓是一個平滑的正弦曲線輪廓,其周期為5μm,調制深度為468nm(使得最內側三個級次的效率相同)。 `wt*7~'= FWNO/)~t 2. 該正弦曲線輪廓疊加入一個隨機的變化,由VirtualLabTM中的可編程光學界面來模擬。 #F\}PCBe' Iy\{)+}aS 3. 用于模擬粗糙度的該代碼片段有兩個物理參數:最小特征尺寸(Smallest Feature Size)和總高度調制(Total Height Modulation)。使用種子(Seed)變量可以確定任意數目的生成器以獲得一個可再生的結果。 oR'8|~U@B -7:J#T/\ 4. 變量“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)” eqK6`gHa6 E9_aNYD 下面將展示所得高度輪廓以及所得效率的圖,其“總的高度調制(Total Height Modulation)”為50 nm,“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”為不同的值。 tL68
u[ irSdqa/ 1) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”為0 [,s{
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