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衍射光學(xué)元件的產(chǎn)生及其結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù)的輸出
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infotek
2021-09-24 10:26
衍射光學(xué)元件的產(chǎn)生及其結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù)的輸出
本案例計算從傳輸中得到的衍射光學(xué)元件的高度分布和結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù)的產(chǎn)生
#}Ays#wA>?
關(guān)鍵詞:衍射光學(xué),衍射光學(xué)元件,結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù),GDSII,ASCII,位圖
Th~pju
所需工具箱:Diffractive Optics Toolbox Basic;Tutorial在試用版本中不可用。聯(lián)系LightTrans或者當(dāng)?shù)亟?jīng)銷商可申請一段全版本的試用。
v yP_qG
相關(guān)Tutorials:DO.1; DO.2; DO.3; DO.4; DO.5; DO.7; LBS.1; LBS.2
pBQ[lPCY/
建模任務(wù)
H-X5A\\5
AJzm/,H
W^3'9nYU
: R8+jO
% %2~%FVb
照射光束強度 衍射擴散器 產(chǎn)生的光圖樣強度
*S Z]xrs
建模任務(wù)
jar?"o
"DJ%Yo
n4ti{-^4|d
2 擴散器參數(shù):
T16B2|C"Y
—相位層:4
xrJ0
—像素尺寸:830*830nm
?C6`
—口徑:1*1mm
8R;E+B{
—周期:664,83*664,83um
dsbz\w3:
2 結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù)輸出為二進制格式
Ew9MWlk
2 需要的高度分布計算
`]Vn[^?D
2 蝕刻掩模分解
a$6pA@7}
2 蝕刻掩模輸出為位圖和GDSII文件
kaCn@$
打開光學(xué)擴散器系統(tǒng)
+.hJ[|F1&
2TaHWw<A
YeF'r.Y
$>%zNq-F
2 上載文件
`k08M)
DO.008_Generation_of_DOE_Fabrication_Data_01.lpd.
rO1.8KKJ
2 文件在VL_Samples文件夾中
$,Y?qn/
光學(xué)擴散器系統(tǒng)
81wmKqDEs
} x'o`GuUf
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