| cyqdesign |
2021-11-30 10:02 |
關(guān)于國產(chǎn)光刻機的那段歷史
1982年，中科院研制出的KHA-75-1光刻機，和當(dāng)時最先進的佳能光刻機相比，差距也就在四年左右。可惜后續(xù)因為沒有投放到商用領(lǐng)域，以及科研經(jīng)費的不足，為了促活經(jīng)濟，國內(nèi)開始采購集成電路生產(chǎn)線設(shè)備，國產(chǎn)光刻機的研究，無奈進入了停滯狀態(tài)。 #vwK6'z
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關(guān)于KHA-75-1光刻機 c@SNbY4}%
科學(xué)院109廠、哈爾濱量具刃具廠、阿城繼電器廠共同研制的KHA75-1型接近、接觸式半自動光刻機。
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