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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計,工藝與設(shè)備 -> 磁控濺射鍍膜電子損傷 [點此返回論壇查看本帖完整版本]

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hxn123	2021-12-15 23:17
磁控濺射鍍膜電子損傷各位大佬，磁控濺射鍍膜過程中的電子損傷能用什么辦法檢測出來嘛，電子損傷有什么辦法將其消除或者規(guī)避掉嘛？

ouyuu	2021-12-16 11:58
是電子本身造成的損傷，還是二次電子造成的靜電損傷？ i"Hec9Ri 有些問題屬于小知識小竅門，網(wǎng)上問的到結(jié)果。 u9My.u@-*% 有些問題屬于別人花了很多錢開發(fā)出來的獨有技術(shù)和工藝， ~A2{$C 屬于保密范疇，網(wǎng)上是問不到結(jié)果的。 Xptb4]

hxn123

2021-12-16 22:20

ouyuu:是電子本身造成的損傷，還是二次電子造成的靜電損傷？ b-4gHW
有些問題屬于小知識小竅門，網(wǎng)上問的到結(jié)果。 k\->uSU9
有些問題屬于別人花了很多錢開發(fā)出來的獨有技術(shù)和工藝， {6H%4n
屬于保密范疇，網(wǎng)上是問不到結(jié)果的。 GVS-_KP\
(2021-12-16 11:58) rHe*/nN%*

好滴，謝謝。這個電子損傷主要是濺射沉積過程中產(chǎn)生的電子，包括二次電子，應(yīng)該不包括靜電。

ouyuu	2021-12-24 11:13
這樣…… /tIR}qK 我這邊只做過新柯隆，他們家是先濺射再氧化的。