超透鏡（Metalens）結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與加工承接

4#xDgxg\f   超透鏡是一種通過(guò)將具有特殊電磁特性的光學(xué)天線，按照一定方式進(jìn)行排列的二維平面透鏡結(jié)構(gòu)，可實(shí)現(xiàn)對(duì)入射光振幅、相位、偏振等參量的靈活調(diào)控，可以用在超分辨顯微成像、全息光學(xué)、消色差透鏡等方面。超透鏡可以將包括白光在內(nèi)的整個(gè)可見光譜，聚焦在同一點(diǎn)上且具有很高的分辨率。 3>AMII   一方面，通過(guò)導(dǎo)入ZEMAX的Binary 2 Surface，VirtualLab Fusion可以對(duì)功能性的MetaLens進(jìn)行建模和仿真，以研究其相位調(diào)制效果；另一方面，VirtualLab Fusion也可以通過(guò)傅里葉模態(tài)法（Fourier Modal Method，F(xiàn)MM）以及參數(shù)運(yùn)行（New Parameter Run）和參數(shù)優(yōu)化（New Parameter Optimization）功能，實(shí)現(xiàn)MetaGrating的設(shè)計(jì)和優(yōu)化，以獲得偏振無(wú)關(guān)和高效率的光柵結(jié)構(gòu)。 _Xc8Yg }`   p!7FpxZY   對(duì)于MetaLens以及MetaGrating，我們采用了納米壓印技術(shù)，結(jié)合沉積、刻蝕等半導(dǎo)體工藝技術(shù)，可以實(shí)現(xiàn)低成本大面積的超透鏡結(jié)構(gòu)加工。 2g-j.TM   KNvZm;Q6   Uw. `7b>B   左圖：基于VirtualLab Fusion設(shè)計(jì)的2D MetaGrating   右圖：按照一定方向進(jìn)行排布的MetaLens結(jié)構(gòu) O7m(o:t x3

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