方形晶胞

UR.l*+<W7   這是一個(gè)簡單的二維光柵的案例，它有兩個(gè)周期的方形晶格。三維單元晶胞在x和y方向上是周期性的。它包含一個(gè)位于襯底上的菱形(平行六面體)，并被背景材料包圍。示例中的材料選擇為鉻(菱形結(jié)構(gòu))、玻璃(基底)和空氣(背景材料)。 p\/;^c`7   u+vUv~4A6   光柵被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite計(jì)算近場分布。下圖顯示了當(dāng)波長為193nm時(shí)，平面波從襯底側(cè)垂直入射到結(jié)構(gòu)內(nèi)的近場強(qiáng)度 S偏振光照明的場矢量 9.$k^|~   P偏振光照明的場矢量 w#`E;fN'   3+$~l5LY   后處理傅里葉變換計(jì)算透射衍射級次的振幅。 WJ$!W   4P}<86xk   參數(shù)掃描 pWXoJ0N   djtCv;z   Matlab®腳本data_analysis/run_scan_illumination.m提供對入射角的掃描。它產(chǎn)生了以下圖表，顯示了反射和透射衍射級次的強(qiáng)度： wloQk(T<W   &p#.m"Oon   在腳本data_analysis/run_scan_width.m中,在一個(gè)固定的照明角度下，其中圖案寬度從150nm增至250nm。這將產(chǎn)生以下依賴關(guān)系 V@Fj!/

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