Essential Macleod應(yīng)用反演工程對四層減反膜進行分析

Dqg01_O9O   有很多的過程可以被稱之為反演工程，但在Essential Macleod中，該術(shù)語的意思是用來識別理想設(shè)計的和實際生產(chǎn)嘗試之間的差異。該功能大致可以概括為“出了什么問題”。這一過程類似于優(yōu)化，在優(yōu)化過程中，將初始設(shè)計進行優(yōu)化，以滿足一組優(yōu)化目標(biāo)。優(yōu)化的目標(biāo)是測量出來的、有問題的膜層性能，但有的時候會有很復(fù)雜的情況。在正常的優(yōu)化中，經(jīng)常會有多個解決方案，但是，由于我們通常會從中選擇一個合適的設(shè)計，所以多個解決方案很少會帶來麻煩。在反演工程中，只有一個正確答案，多個解決方案可能是災(zāi)難性的，那么怎么才能知道我們是否得到了正確的答案？這一點沒有完全嚴格的測試方法，因此我們只能利用所掌握的關(guān)于鍍膜的所有知識來評估結(jié)果的合理性。我們還利用我們的知識和經(jīng)驗以及各種不同的約束來指導(dǎo)過程。同時，作為目標(biāo)的測量結(jié)果應(yīng)盡可能精確，這一點至關(guān)重要。因此，盡管反演工程本質(zhì)上是一個優(yōu)化器，但它的結(jié)構(gòu)與任何優(yōu)化工具都完全不同。 Ake$M^Bz   dZkj|Ua~   我們可以看一個在400nm至700nm區(qū)域NBK7玻璃上鍍減反射膜層反演工程中的應(yīng)用。這是使用四層SiO2和Ta2O5，我們在每個Ta2O5層中引入誤差，在第四層中，靠近基板厚度+10%，在較厚的第二層中厚度-10%。正確設(shè)計和錯誤設(shè)計的反射率如圖1所示，其中考慮了基板背面的影響。 "Z]z9(   B8`!A   圖1.橙色曲線表示無誤差四層設(shè)計的性能，黑色曲線表示有誤差的性能。這兩條曲線都包括基板后表面的影響。 _ SJFuv/   0bfJD'^9RP   我們要做的第一件事就是通過File-New子菜單設(shè)置中創(chuàng)建新的反演工程。該工具立即要求導(dǎo)入正確的設(shè)計，圖2，Next，圖3，是我們需要的基板，默認是從設(shè)計中讀取的。如果在后表面變黑或磨平的情況下測量性能為反射率，則應(yīng)使用Wedge屬性。最后，我們需要導(dǎo)入測量性能。圖4顯示了這個階段工具的外觀。 %~I%*=o[   圖2.反演工程工具的對話框，其中應(yīng)輸入無錯誤設(shè)計的路徑。 }B `T%(11=   |>/m{L[   圖3.反演工程中的第二個和第三個對話框，我們在其中輸入基板細節(jié)，然后輸入測量的性能。性能可以是反射率、透射率或橢圓參數(shù)。 9jI5bi)   HhB&vi   圖4.輸入性能后，顯示屏將顯示測量的性能以及從正確設(shè)計中計算得出的性能。有各種可用的命令，可以減少目標(biāo)點的數(shù)量、阻止某些目標(biāo)區(qū)域等 9Pql\]9"o   P 达州市| 平乡县| 江口县| 横峰县| 黔西| 婺源县| 正宁县| 柘城县| 大渡口区| 盱眙县| 新密市| 酉阳| 余江县| 罗山县| 河津市| 子长县| 兰溪市| 外汇| 常熟市| 英吉沙县| 临朐县| 贵阳市| 泉州市| 饶河县| 柳河县| 都匀市| 嵊泗县| 林西县| 桑植县| 和平县| 崇州市| 临泉县| 正安县| 原平市| 宝山区| 友谊县| 太湖县| 嘉峪关市| 区。| 吉安市| 甘德县|