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infotek

2022-05-18 09:30

錐形相位掩模的Talbot像

在傳統(tǒng)的Talbot光刻中，在光敏層中僅使用一個(gè)圖像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的兩個(gè)圖像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通過傅立葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA）在VirtualLab Fusion中對(duì)具有一層圓錐體的相位掩模進(jìn)行了建模。探測(cè)得到不同的Talbot像，柱狀圖位于主像面上，孔狀圖位于次像面上。