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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計(jì),工藝與設(shè)備 -> APC充氧的作用 [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本]

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xzaxd	2022-06-16 09:04
APC充氧的作用請(qǐng)教各位大佬，鍍膜中的APC充氧有什么作用？

ouyuu	2022-06-18 18:44
補(bǔ)充氧氣，穩(wěn)定真空度。 hj[g2S%X 不同真空度下，膜的分布和致密度都是不一樣的。 e6/} M3B

xzaxd	2022-06-20 11:34
但是不是真空度越高對(duì)膜層堆疊越好嗎？

奔跑的小駿馬	2022-06-21 18:22
APC充氧主要作用是保證鍍膜材料氧化充分，不然吸收會(huì)比較大

ouyuu

2022-07-02 19:40

xzaxd:但是不是真空度越高對(duì)膜層堆疊越好嗎？ (2022-06-20 11:34) ]QQ"7_+

理論上是這樣。但是實(shí)際上也要考慮機(jī)臺(tái)生產(chǎn)的穩(wěn)定性。在清機(jī)初期抽速較好的情況下，人為的降低一點(diǎn)真空度。有射頻離子源的情況下，一般離子源才是供氧的主力。（APC流量一般小于離子源供氧）

xzaxd	2022-07-05 16:54
ouyuu:理論上是這樣。但是實(shí)際上也要考慮機(jī)臺(tái)生產(chǎn)的穩(wěn)定性。在清機(jī)初期抽速較好的情況下，人為的降低一點(diǎn)真空度。有射頻離子源的情況下，一般離子源才是供氧的主力。（APC流量一般小于離子源供氧） (2022-07-02 19:40)