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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計(jì),工藝與設(shè)備 -> 為什麼SiO2開(kāi)APC會(huì)吸收? [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本] [打印本頁(yè)]

danieltsai06 2022-10-13 11:29

為什麼SiO2開(kāi)APC會(huì)吸收?

如題, 離子源氧氣開(kāi)大也是會(huì)吸收, APC打開(kāi)也會(huì)吸收, O2不是會(huì)降低吸收嗎?
tearzhou 2022-10-14 08:40
此吸收非吸收,氣體太多,真空度變差會(huì)造成膜層不夠致命,SIO2膜層不夠致命造成的散射 ]TfeBX6ST  
另一個(gè)就是你氧氣純度
danieltsai06 2022-10-14 15:11
tearzhou:此吸收非吸收,氣體太多,真空度變差會(huì)造成膜層不夠致命,SIO2膜層不夠致命造成的散射 @t "~   
另一個(gè)就是你氧氣純度 (2022-10-14 08:40)  S]tkz*w0*  
|\rSa^:5  
謝謝,終於解惑了。
comebackz 2022-11-02 09:33
不錯(cuò)........
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