| 一只魚 |
2022-10-25 19:32 |
菲索干涉系統(tǒng)仿真中波前優(yōu)化問(wèn)題
菲索干涉系統(tǒng)通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)參考鏡出射理想波前進(jìn)行檢測(cè)，測(cè)量精度取決于參考面面形加工精度，但是在進(jìn)行菲索干涉系統(tǒng)仿真時(shí)，不知道是否需要考慮標(biāo)準(zhǔn)參考鏡前的擴(kuò)束準(zhǔn)直系統(tǒng)每一部分的出射的波前質(zhì)量，還是只需要達(dá)到基本擴(kuò)束準(zhǔn)直效果就可以了
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