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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計(jì),工藝與設(shè)備 -> 蒸鍍AS/AF的問題 [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本]

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danieltsai06	2022-12-01 08:50
蒸鍍AS/AF的問題機(jī)型:OPTORUN1850 f(UB$^4 AS膜厚15nm. ?R":"*eu 外圈AS可達(dá)規(guī)水接觸角110度，但是內(nèi)圈都達(dá)不到，有什么改善方法嗎? cJLAP%.L 懇求指教!!!

xzaxd	2022-12-01 11:02
蒸發(fā)源抬高試一試？或者增加厚度

ouyuu	2022-12-01 21:36
蒸發(fā)源的位置很重要。材料蒸發(fā)后是往擴(kuò)散泵的方向走的。 tV"Jh>Z 如果蒸發(fā)源在靠門的位置，那么蒸發(fā)的分布應(yīng)該就比較均勻了。 /CXQ&nwY9= Jt(RF*i 另外真空度也有關(guān)系，真空也會(huì)影響膜層分布。