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gangzi0801	2023-02-17 18:36
關(guān)于高速超精密激光干涉儀哈工大成功研制出了高速超精密激光干涉儀，目前可用于350nm到28nm工藝的光刻機(jī)樣機(jī)集成研制和性能測試，意味著我們離光刻機(jī)又近了一步。 g2A"1w<-AH _n7%df 大家一起來交流一下，關(guān)于高速超精密激光干涉儀的知識和技術(shù)吧。

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