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光行天下 -> 光學薄膜設計,工藝與設備 -> 求助各位大佬，怎么才能過雙85環(huán)測？ [點此返回論壇查看本帖完整版本]

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tfcalc68	2023-03-17 17:45
求助各位大佬，怎么才能過雙85環(huán)測？用MGF2+H4這兩種材料，什么工藝才能過雙85環(huán)測呀？ @CL{D:d 目前試過：設定溫度320℃，MGF2速率3.0A/S，H4速率1.5A/S，最后鍍15nm SIO2，速率1.5A/S，MGF2打底層，高溫高濕脫膜，看上去像是最外層膜脫落