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lu5253 2023-03-27 14:10

關(guān)于ALD鍍SiO2薄膜后,薄膜性能如何?

關(guān)于ALD鍍SiO2薄膜后,薄膜性能如何?例如在電學(xué)性能,折射率、消光系數(shù)以及鍍膜后應(yīng)力等方面的性能。
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