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透過(guò)率高低不一致的問(wèn)題
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與日月兮齊光
2023-08-10 13:47
透過(guò)率高低不一致的問(wèn)題
在8寸的硅晶圓上做一個(gè)中遠(yuǎn)紅外長(zhǎng)波通,平面行星盤,用Te和ZnS兩種材料,都用阻蒸蒸發(fā),不用離子源輔助鍍膜,為什么同一片測(cè)出來(lái)透過(guò)率高低差異會(huì)這么大,而且每次透過(guò)率高低分布的規(guī)律都不一樣
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