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xzaxd	2023-10-24 17:03
RF源暖機(jī)時(shí)間問(wèn)題請(qǐng)教請(qǐng)教各位大佬： qz[qjGdHg 1、RF源最少暖機(jī)時(shí)間設(shè)置多少合適？source和beam Ad$CHx- 2、暖機(jī)時(shí)間少了或者不暖機(jī)，會(huì)不會(huì)直接導(dǎo)致離子源容易滅弧，影響機(jī)理是什么？

大劍宿意琦行	2023-10-24 21:35
一般不是兩分鐘嗎？容易滅弧是因?yàn)榕K，沒(méi)保養(yǎng)到位罷了。

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