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小火龍果

2023-11-16 09:24

SYNOPSYS 光學(xué)設(shè)計軟件課程四十八：從初始結(jié)構(gòu)開始設(shè)計的微光刻透鏡

課程四十八：從初始結(jié)構(gòu)開始設(shè)計的微光刻透鏡
你現(xiàn)在使用的電腦有一個中央處理器，它的晶圓片是用一個非常復(fù)雜的鏡頭曝光加工而來的。這類鏡頭可能含有20或30個以上的鏡片組成，是世界上最精細的鏡頭。如果你想更好的學(xué)習(xí)光學(xué)設(shè)計，這將是一個好的學(xué)習(xí)例子。
本課將給出一個學(xué)習(xí)例子:
1. 鏡片數(shù)22片
2. 物高31mm
3. 物方數(shù)值孔徑NA 0.2
4. 波長為UV
5. 像方晶圓尺寸是12.66mm
6. 總長小于1200mm

這種透鏡在物方和像方上都是有限共軛的，最好分兩步設(shè)計。首先，我們將為左半部分設(shè)計一個鏡片組，可以讓光束經(jīng)過遮光罩，光束到中心后被準(zhǔn)直。然后我們將為右半部分設(shè)計第二個鏡片組，將準(zhǔn)直光束成像到晶圓片上。

首先，我們將使用 DSEARCH 為左半部分設(shè)計出11個鏡片的鏡頭，輸入的命令如下：
下面是對 DSEARCH 的輸入：