高數(shù)值孔徑(NA)物鏡的聚焦分析

高NA物鏡廣泛用于光刻，顯微等技術。因此，聚焦仿真中考慮光的矢量性質至關重要。VirtualLab可以非常便捷地對此類鏡頭進行光線追跡和場追跡分析。通過場追跡，可以清楚地觀察由于矢量效應引起的聚焦光斑失對稱現(xiàn)象。利用相機探測器和電磁場探測器能夠對聚焦區(qū)域進行靈活全面的研究，進而加深對矢量效應的理解。 YXxaD@  
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2. 建模任務 vwDnz/-  
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3. 概述 8qL*Nf  
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 示例系統(tǒng)包含了高數(shù)值孔徑物鏡 @0A7d $J(  
 下一步，我們將闡述如何遵循VirtualLab中推薦的工作流程執(zhí)行示例系統(tǒng)的仿真。 (yWU9q)5  
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