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光行天下 -> 光學薄膜設計,工藝與設備 -> 離子源充氧與充氬有何分別？ [點此返回論壇查看本帖完整版本]

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wangxingyu	2007-04-15 09:48
離子源充氧與充氬有何分別？離子源充氧與充氬有何分別？

j123456789	2007-04-15 15:49
離子源充氧后會產(chǎn)生氧原子和氧離子，它們具有極其強的活性，作為氧化物膜沉積時的輔助，不僅能提高膜層的密度，還能改善其吸收！但，其會降低離子源的壽命！！充氬僅能提高膜層的密度，同時離子源的壽命會相對長！

flyinlove79	2007-04-16 22:15
樓上的說的好 [s:4]

jiayuch	2007-04-22 16:21
如果鍍得是氟化鎂就用氬氣嗎

yufe16	2008-06-17 22:41
氬氣流量大約是多少合適呢?高低折射率的材料用一樣的流量嗎？

liwenjuan

2008-06-18 18:16

這個問題也是我一直思考的，好像是的純用氧氣的離子源鍍出的膜層是好點，壽命問題真的是要考慮的，廠家可能也是拿著這個結(jié)果來對我們說，而不會提到這個壽命的情況。
我也發(fā)現(xiàn)這種柵極用幾次就會有損傷。

不同的材料肯定是不同，這個除了廠家會給一些參考，也要自己摸索了

syw1984	2008-06-28 22:14
好像透過曲線有區(qū)別的

yufe16	2008-06-29 22:26
使用離子源的話，對真空室溫度有什么要求嗎》

yufe16	2008-06-29 22:27
使用離子源對真空室溫度有什么要求嗎？

拉比熊	2013-01-13 23:13
使用離子源對溫度沒有影響

ken_jinyan1	2013-01-28 15:02
我們公司的GENER1300 配的是霍爾的離子源。廠家調(diào)試的時候用的是O2，