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2024-09-11 07:56 |
非傍軸衍射分束器的設(shè)計(jì)與嚴(yán)格分析
摘要 :]:)c8!6 7V%P 0SvPr[ > 非傍軸衍射光束分束器的直接設(shè)計(jì)仍然是一個(gè)挑戰(zhàn)。由于衍射角度相當(dāng)大,元件的特征尺寸與光的波長(zhǎng)相近。因此,通常使用的傍軸建模方法變得不準(zhǔn)確,需要嚴(yán)格的技術(shù)。因此,在這個(gè)例子中,迭代傅里葉變換算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光學(xué)元件(DOE)的初步設(shè)計(jì),并且之后使用傅里葉模式方法(FMM)也稱為嚴(yán)格耦合波分析(RCWA)進(jìn)行嚴(yán)格的性能評(píng)估,包括在高度變化的情況下對(duì)優(yōu)點(diǎn)函數(shù)變化的研究。 1v&!%9 OUWK 任務(wù) "R5G^-<hp • 使用傍軸近似(TEA)進(jìn)行衍射1:7×7光束分束器的初步設(shè)計(jì),用于結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)部分。 0
s+X:*C~ • 使用嚴(yán)格分析(FMM/RCWA)對(duì)性能進(jìn)行分析和進(jìn)一步優(yōu)化,以提高均勻性并評(píng)估零階的影響。 LZ wCe$1 P;"moluE; 4T3Z9KD!8 模擬與設(shè)置:工具簡(jiǎn)介與整體流程概覽 XQ~Xls%]
連接建模技術(shù):衍射光束分束器 Q
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