傾斜光柵的參數(shù)優(yōu)化及公差分析

對于背光系統(tǒng)、光內(nèi)連器和近眼顯示器等許多應(yīng)用來說，將光高效地耦合到引導結(jié)構(gòu)中是一個重要的問題。對于這種應(yīng)用，傾斜光柵以能夠高效地耦合單色光而聞名。在本例中，提出了利用嚴格傅里葉模態(tài)方法（FMM，也稱為RCWA）對傾斜光柵的優(yōu)化方法。優(yōu)化后的光柵的衍射效率超過90%。此外，還研究了其對光柵的傾角偏差和圓角邊緣的影響。 -X@;"0v  
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