光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)的分析與公差
VirtualLab Fusion 軟件可以對(duì)光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)進(jìn)行仿真，如干涉儀、光譜儀以及表面測(cè)量器件。 7R5 +Q\W
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很多光學(xué)測(cè)量原理都是基于光的波動(dòng)特性。典型的器件有： t/ l<X]o
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干涉儀 * ;U<b
光譜儀&單色儀 i1*0'x
表面計(jì)量系統(tǒng) |7${E^u
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VirtualLab Fusion 軟件可以對(duì)這些測(cè)量系統(tǒng)進(jìn)行仿真及公差分析。許多設(shè)置都是以衍射效應(yīng)、干涉效應(yīng)以及時(shí)間和空間相干性為特點(diǎn)。VirtualLab的場(chǎng)追跡引擎進(jìn)行快速精確的測(cè)量系統(tǒng)建模的同時(shí)考慮了這些物理光學(xué)效應(yīng)。 AJ)&+H
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VirtualLab Fusion軟件的特性： '%YE#1*gH
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基于物理光學(xué)的計(jì)量系統(tǒng)仿真 6Cfsh<]b
包含部分相干和衍射效應(yīng) "2p\/VfA
尤其對(duì)傾斜和偏移的公差分析 L\V`ou
真彩色獲取 amQTPNI
便于使用的位置概念 ^]Z@H/]H
干涉條紋的計(jì)算 WQbjq}RfI
測(cè)繪掃描系統(tǒng)的仿真 '8(UiB5d
全譜段高分辨率分析 X #zp,7j?
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