利用光線追跡分析高數(shù)值孔徑透鏡系統(tǒng)
示例.0082(1.0) Ep?a>\ HO@T2t[ 關(guān)鍵詞:光線追跡,高數(shù)值孔徑,點(diǎn)列圖,光斑尺寸 c<DYk f mCz6& 1. 描述 fwq|8^S@ ■ 該案例中闡述了如何利用VirtualLab對一個具有高數(shù)值孔徑的透鏡系統(tǒng)進(jìn)行分析。 pRU6jV 6e) ■ 我們將對焦面前和焦面上對三維光線結(jié)構(gòu)和二維點(diǎn)列圖進(jìn)行討論。 /yykOvUO ■ 此外,VirtualLab可用于測量焦平面上的光斑尺寸。 Q}=RG//0* Ec\x;li! * 2. 系統(tǒng) %<M<'jxSca 19N:9;Ixz
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd p9s~WD/K 3. 透鏡系統(tǒng)組件編輯 Iyc')\W& 4X\*kF% ■ 在光路視圖中雙擊透鏡系統(tǒng)元件,可以顯示元件編輯窗口。 :%>8\q>UX ■ 透鏡系統(tǒng)是由序列光學(xué)表面(OIS)定義的。 j}VOr >xz ■ 每一個可選項都有獨(dú)立的參數(shù),并可以設(shè)定。 D{loX6 ■ 包括序列光學(xué)表面和光學(xué)介質(zhì)。 =d5!O~}r> q~w;C([k_ BphF+'CM 4. 光線追跡系統(tǒng)分析器-選項 GDcV1$NA 4z*_,@OA #!5Nbe ■ 分析器允許用戶指定使用光源的光線選項。 7q^/.:wlf ■ 可以選擇選取光線的方法: XBY"7} — 在x-y-網(wǎng)格 yBe/UFp+ — 六邊形 f.f4<_v'h — 自由選取 PaDT)RrEM ■ 每一個可選項都有獨(dú)立的參數(shù),并可以設(shè)定。 :5*<QJuI#A ZH}NlEn 5. 系統(tǒng)的3維視圖 41zeN++ 5rWRE-
Za f) 6. 其他系統(tǒng)參數(shù) GawO>7w8 ■ 系統(tǒng)由單色平面波照明 3LxJ}>]TO ■ 照明波長266.08nm ?hmb"^vlG ■ 后端的探測器用來分析透鏡系統(tǒng)的性能: 9@1W=
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