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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計(jì),工藝與設(shè)備 -> 銀內(nèi)反膜，保護(hù)膜一拉就脫落，怎么回事？ [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本]

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songyanxia	2024-12-07 13:32
銀內(nèi)反膜，保護(hù)膜一拉就脫落，怎么回事？膜系結(jié)構(gòu):氧化鋁+銀+氧化鋁（不帶源）+氧化鋁（帶源）+氧化硅（帶源）。現(xiàn)在鍍下來(lái)，用膠帶拉，保護(hù)膜會(huì)脫落。請(qǐng)教各位有什么辦法解決。

shenhan0701	2024-12-09 10:51
鍍前有開(kāi)離子源打一下基板嗎？

songyanxia	2024-12-09 18:36
shenhan0701:鍍前有開(kāi)離子源打一下基板嗎？ (2024-12-09 10:51) !dqC6a d<m;Q}/l&h 有的，預(yù)處理。現(xiàn)在是銀膜層沒(méi)問(wèn)題，他外面的保護(hù)膜一拉就會(huì)掉。

蔡沛峰	2024-12-16 09:09
內(nèi)側(cè)結(jié)合力的問(wèn)題，為什么不在內(nèi)側(cè)用IBS

ouyuu	2024-12-18 21:46
感覺(jué)還是工藝問(wèn)題。你的離子源可以用氬嗎？速率和溫度是多少？適當(dāng)調(diào)整離子源或者溫度看下會(huì)不會(huì)緩解。

coldking	2025-01-21 11:33
材料不夠黏 T^A(v(^D

度魔銀	2025-03-14 16:11
膜系結(jié)構(gòu):帶源鍍氧化鋁+銀+氧化鋁（不帶源）+氧化硅（帶源）。試試

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