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hello2024 2024-12-10 10:08

微光學機電系統(tǒng)的發(fā)展和應用

論述了微光學機電系統(tǒng)(MOEMS)的研究狀況和已研制的系統(tǒng)的結構工藝與工作原理,對其發(fā)展和應用前景進行討論。
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