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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計,工藝與設(shè)備 -> AR膜中間脫膜 [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本]

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飛奔的牛	2025-01-22 09:42
AR膜中間脫膜 6層膜，GE/ZNS/ GE/ZNS/ GE/ZNS,膜層在ZNS之后鍍GE脫膜，晶圓經(jīng)過劃成小片，邊緣出現(xiàn)中間膜層脫膜。想求助一下是什么原因 \|sI^_RdBv 目前懷疑是ZNS+GE之間膜層結(jié)合力不好 MM97$ [attachment=131374]

ouyuu	2025-02-20 11:33
真空度，溫度，鍍膜速率都有關(guān)系的。另外你是用什么鍍的？阻蒸還是電子槍？

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