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和宸晶體科技	2025-02-05 08:45
非接觸式加工能否成為藍(lán)寶石超精密制造的終極答案？——離子束VS飛秒激光技術(shù)對比技術(shù)背景 rHX^bcYK 隨著極紫外光刻（EUV）、空間激光通信等領(lǐng)域的精度需求逼近物理極限，傳統(tǒng)接觸式加工已難滿足需求。本文對比兩種前沿工藝： BrwC9: 1. 反應(yīng)離子束刻蝕（RIBE）