| 威武的兔子 |
2025-02-26 09:50 |
WLO(晶圓級光學)的各種工序
WLO(晶圓級光學)的各種工序。 i{$-[*WHiV
首先，通過透鏡成型工藝(圖1)，在上下的模具(微透鏡陣列的模具)之間設置樹脂。 w/@ZPBRo]
接著，通過固化工藝(圖2)，使樹脂通過熱固化或UV固化而固化。 ^0]0ss;##R
接著，通過脫模工藝(圖3)，卸下模具，將作為固化樹脂的微透鏡陣列取出。這里，微透鏡陣列構(gòu)成微透鏡呈平面狀或二維狀展開的平面微光學元件。 #]h
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接著，通過粘合工藝(圖4)，利用粘接劑將多個(兩片以上)的微透鏡陣列粘合，制作微透鏡陣列層疊體(參照圖5)。在該粘合工藝中，以往以點狀(spot)粘接方式進行了粘合，但在本實用新型中，利用粘接片以面狀粘接方式進行粘合。 %q5dV<X'c
接著，通過切割裝置對微透鏡陣列層疊體實施切割工藝(圖5)，切分為每個透鏡的芯片狀的透鏡模塊。作為切割裝置，使用了利用激光實施切割的裝置或者利用刀片實施切割的裝置。將多種透鏡模塊粘合而形成透鏡層疊體，制作在透鏡層疊體的底部配置有圖像傳感器的相機型光學設備。
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