一種緊湊型極紫外寬帶光譜儀

近日，據(jù)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局信息顯示，浙江同越光學(xué)科技有限公司取得一項(xiàng)名為“一種緊湊型極紫外寬帶光譜儀”的專利，授權(quán)公告號(hào)CN119104151B，申請(qǐng)日期為2024年9月。 ? RID4xu!  
據(jù)專利摘要顯示，本發(fā)明公開了一種緊湊型極紫外寬帶光譜儀，包括激光等離子體光源和承載機(jī)構(gòu)，所述承載機(jī)構(gòu)包括軸心在同一直線上的光源腔和收集腔，所述光源腔通過第一連接管與所述收集腔連通，所述光源腔上表面設(shè)置有分光原件，所述收集腔上表面設(shè)置有非周期Al/Zr多層膜球面反射鏡，所述光源腔另一側(cè)通過第二連接管連接有CCD傳感器，所述CCD傳感器與所述分光原件之間位于所述第二連接管上設(shè)置有雜散光抑制機(jī)構(gòu)。本發(fā)明采用上述的一種緊湊型極紫外寬帶光譜儀，在保證光譜分辨率和透射效率的同時(shí)避免了使用反射式光柵造成的額外空間需求和引入額外像差，提升了光譜分辨率。 4mm>6w8NT