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2025-03-12 08:04 |
JCMSuite應用—衰減相移掩模
在本示例中，模擬了衰減相移掩模。 該掩模將線/空間圖案成像到光刻膠中。 掩模的單元格如下圖所示： #D
.H2'_}
RCND|X
 +VAfT\G 2
Y\%R6/Gj|u
掩模的基板被具有兩個開口的吸收材料所覆蓋。在其中一個開口的下方，位于相移區(qū)域。 6( ju!pE`
|2
g }i\
由于這個例子是所謂的一維掩模(線/空間模式)，在xy平面中有一個2D仿真域。在源文件中設置3DTo2D = yes標簽，以執(zhí)行用戶自定義傳入方向的自動轉(zhuǎn)換。啟用此標記后，就可以描述傳入?yún)^(qū)域，就好像光軸與Z軸重合一樣。這允許統(tǒng)一設置2D和3D的掩模模擬項目。由于光線從基板下方進入，光線的傳輸方向為+Z方向。 kVe^g]F
&pZ]F=.r+
相位分布如下圖所示： <*3wnpj_
8Nd +
 z
}R-J/xr2
q~;P^i<Y
相移區(qū)域的影響清晰可見，導致開口上方光束的180度相位差。同時光場的S和P分量也顯示出相位差： 8T&m{s
~*L
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