我國(guó)成功研制出全球首臺(tái)193納米緊湊型固態(tài)激光器
深紫外（DUV）激光器憑借其高光子能量和短波長(zhǎng)特性，在半導(dǎo)體光刻、高分辨率光譜學(xué)、精密材料加工和量子技術(shù)等領(lǐng)域發(fā)揮著關(guān)鍵作用。與準(zhǔn)分子激光器或氣體放電激光器相比，這類激光器具有更高的相干性和更低的功耗，為系統(tǒng)小型化發(fā)展提供了可能。 %K=_
據(jù)《Advanced Photonics Nexus》報(bào)道，中國(guó)科學(xué)院研究團(tuán)隊(duì)取得重要突破，成功研制出可產(chǎn)生193納米相干光的緊湊型全固態(tài)激光系統(tǒng)。該波長(zhǎng)對(duì)于光刻工藝至關(guān)重要，該工藝通過(guò)在硅晶圓上蝕刻復(fù)雜電路圖案，構(gòu)成了現(xiàn)代電子設(shè)備的制造基礎(chǔ)。 S-3hLw&?
[attachment=131829] u8%X~K\
實(shí)驗(yàn)裝置 WcM\4q@
該新型激光系統(tǒng)工作重復(fù)頻率為6千赫茲，采用自主研發(fā)的摻鐿釔鋁石榴石（Yb:YAG）晶體放大器產(chǎn)生1030納米基頻光。 uM,Ps}
激光器輸出分為兩路：一路通過(guò)四次諧波轉(zhuǎn)換生成258納米紫外光（輸出功率1.2瓦），另一路驅(qū)動(dòng)光學(xué)參量放大器產(chǎn)生1553納米激光（功率700毫瓦）。 7Nk|9t
隨后，這兩束光經(jīng)級(jí)聯(lián)LBO（三硼酸鋰，LiB3O5）晶體進(jìn)行混頻，最終獲得平均功率70毫瓦、線寬小于880兆赫的193納米深紫外激光輸出。 S-Bx`e9
丘北县|
邵阳县|
丹江口市|
长葛市|
柳河县|
琼中|
黑河市|
旅游|
普宁市|
浮山县|
固始县|
沁阳市|
鄂伦春自治旗|
镇江市|
图木舒克市|
阜康市|
通州市|
襄汾县|
石嘴山市|
库车县|
临邑县|
瑞丽市|
福贡县|
肇东市|
江山市|
泸水县|
闽清县|
黎平县|
伽师县|
杭锦后旗|
永靖县|
拜城县|
新沂市|
遂溪县|
丰都县|
法库县|
兴国县|
游戏|
玉龙|
依兰县|
永年县|
|