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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計,工藝與設(shè)備 -> 請問如何解決濺鍍時針孔問題 [點此返回論壇查看本帖完整版本]

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sorry6741

2007-05-17 17:18

請問如何解決濺鍍時針孔問題

我們公司是做mirror的，可是鍍完後針孔非常多(濺鍍機為直立式)，大小在0.3~0.4mm，實在是很難解決，靶材距離基板150mm，膜層第一層有打底，我想問的是：
1.靶材和基板距離對針孔產(chǎn)生會有影響嗎？
2.磁場分佈不均勻會有影響嗎？
3.基板材質(zhì)會有影響嗎？
4.不同底層會有影響嗎？
5.機臺內(nèi)部環(huán)境(粉塵)會有影響嗎？

請各位能幫我解決這些疑惑？現(xiàn)在客人都要求針孔要<0.1mm，真得很難做，謝謝

cswmsc	2007-05-20 11:21
你首先得判斷針孔的來源：是基板清洗問題？真空室粉塵問題？靶材問題？然后才能對癥下藥。

sorry6741	2007-05-20 14:57
目前實在是很難判斷何處產(chǎn)生，所以才會請教各位看官，你們會有針孔的問題嗎？

flyinlove79	2007-05-23 16:33
鍍金屬反射膜，很容易出現(xiàn)針孔的。2樓的說的對，必須先找出問題的起因。

荷塘月色	2007-07-02 22:32
你們的產(chǎn)品的針孔確實是夠大的了。首先得判斷針孔的規(guī)則：是很圓型？還是不規(guī)則型？如是圓型，是油水造成的；如是不規(guī)則型，則是塵點吸附造成的。與過程控制有關(guān)。與上述1、2項內(nèi)容無關(guān)。

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