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光柵是光學(xué)工程師使用的最基本的工具。為了設(shè)計(jì)和分析這類組件，快速物理光學(xué)建模和設(shè)計(jì)軟件VirtualLab Fusion為用戶提供了許多有用的工具。其中包括參數(shù)優(yōu)化，以輕松優(yōu)化系統(tǒng)，以及參數(shù)運(yùn)行，它允許您執(zhí)行參數(shù)掃描，以研究這些參數(shù)對(duì)設(shè)置的總體效果的影響。此外，還可以用于詳細(xì)研究具體制造過程中的偏差引入的影響。不同的求解器也可以供您使用來模擬場與光柵的相互作用，具有不同的假設(shè)和相應(yīng)的近似水平。這些方法的范圍從嚴(yán)格的傅里葉模態(tài)法（FMM）到適用于具有淺浮雕大型結(jié)構(gòu)的薄元近似法（TEA）。 b}^S.;vNj
薄元素近似法（TEA）對(duì)比傅里葉模態(tài)法（FMM）進(jìn)行光柵建模 y9H%
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研究了兩種常用但原理不同的分析光柵衍射效率的算法： TEA和FMM（也稱為RCWA）。比較了不同周期的兩種類型的光柵（正弦和閃耀）結(jié)果。 S[3iA~)Z-
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