| infotek | 2025-05-29 08:38 |
JCMsuite應(yīng)用：一維周期線柵 光柵被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite計(jì)算近場(chǎng)分布。下圖顯示了當(dāng)波長(zhǎng)為193nm時(shí)，平面波從襯底側(cè)垂直入射到結(jié)構(gòu)內(nèi)的近場(chǎng)強(qiáng)度。  S偏振光照明的近場(chǎng)強(qiáng)度  P偏振光照明的近場(chǎng)強(qiáng)度 后處理傅里葉變換計(jì)算透射衍射級(jí)次的振幅。 參數(shù)掃描 Matlab®腳本data_analysis/run_scan_illumination.m提供對(duì)入射角的掃描。它產(chǎn)生了以下圖表，顯示了反射和透射衍射級(jí)次的強(qiáng)度：  在腳本data_analysis/run_scan_width.m中,光照角度固定時(shí)，線柵的寬度從150nm增至250nm。這將產(chǎn)生以下線柵寬度依賴關(guān)系：  |
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