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非傍軸衍射分束器的設(shè)計與嚴(yán)格分析
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infotek
2025-07-22 07:56
非傍軸衍射分束器的設(shè)計與嚴(yán)格分析
摘要
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非傍軸衍射光束分束器的直接設(shè)計仍然是一個挑戰(zhàn)。由于衍射角度相當(dāng)大,元件的特征尺寸與光的波長相近。因此,通常使用的傍軸建模方法變得不準(zhǔn)確,需要嚴(yán)格的技術(shù)。因此,在這個例子中,迭代傅里葉變換算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光學(xué)元件(DOE)的初步設(shè)計,并且之后使用傅里葉模式方法(FMM)也稱為嚴(yán)格耦合波分析(RCWA)進(jìn)行嚴(yán)格的性能評估,包括在高度變化的情況下對優(yōu)點(diǎn)函數(shù)變化的研究。
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