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光行天下 -> 光學薄膜設計,工藝與設備 -> 隨便聊聊離子源 [點此返回論壇查看本帖完整版本]

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ouyuu

2025-08-10 23:06

隨便聊聊離子源

近幾年國內(nèi)興起來很多鍍膜機制造廠家，老牌的國外鍍膜機廠家日漸衰微。
國外廠家以前值得夸耀的離子源系統(tǒng)和光控系統(tǒng)國內(nèi)也基本攻克了，也就是穩(wěn)定性上有點優(yōu)勢。

國內(nèi)鍍膜機上常見的離子源應該是霍爾源和射頻源。
這兩種源都利用了磁場--電子在磁場做圓周（螺旋）運動，
從而增加了電子在空間的行程，增加了和工作氣體碰撞的幾率。
不同的是霍爾源一般是永磁鐵，磁場沒有變化；
而射頻源是震蕩磁場，磁場會周期變化，電子也會周期振蕩。
霍爾源一般沒有柵極，所以離子的能量（電壓）比較小，但是數(shù)量（電流）可以很大；
射頻源有柵極，所以離子能量（電壓）可以加的很高，但是數(shù)量（電流）有限制。
一般鍍膜時候離子電壓在1kv水平就夠了；
離子能量增大到10kv水平，這個能量能把基材表面的顆粒打飛，一般用于離子濺射；
離子能量加大到幾百萬電子伏特時，能把離子直接打進基材里面，這個就用在離子注入機上。

射頻源的難點在于柵網(wǎng)和射頻匹配，
柵網(wǎng)受熱會膨脹變形，而柵網(wǎng)之間通常離得很近，受熱變形后就容易接觸打火。
新的柵網(wǎng)還好說，隨著柵網(wǎng)越用越薄，變形的幾率就越來越大。
進口柵網(wǎng)一般是整塊鉬塊掏制的，就是為了克服受熱變形。
用鉬板旋壓則制作成本較低，但是變形量比掏制的要大很多。

射頻匹配就是調(diào)整可變電容來匹配射頻震蕩回路，使得反射電流最小化。
一般只要接觸良好，線圈不發(fā)生變形，LC震蕩回路的匹配值只和真空度和氣體有關，
離子源本體因為會要切換氣體（一般是Ar和O2），所以必須自動匹配，
中和器只用Ar，所以匹配好了基本上不會變化。
如果發(fā)生反射很高的情況，要么就是接觸產(chǎn)生問題了，要么就是線圈變形了，
或者就是哪里對地短路了。

quan6658	2025-08-16 13:54
那如果射頻離子源報加速電流異常一般是什么原因造成的？柵網(wǎng)也沒有發(fā)現(xiàn)有破損或掉渣，但是柵網(wǎng)中間部分會有局部出現(xiàn)與其它地方不一致顏色的扭曲線條，像個W oP:/%

ouyuu	2025-08-23 17:57
是哪家的離子源，不同廠家的離子源加速極位置不一樣。 C <H$}f 有照片最好發(fā)一下，有可能是打火。 MX7$f (Hy 柵網(wǎng)之間位置過近或者孔位偏差會造成打火。 dl+c+w" rji<g>GQ 有可能是沒裝好，也有可能是本身柵網(wǎng)的問題。

囊中蓄乾坤	2025-08-27 17:12
學習了。之前有個一直反射電流高，后面就是換了那個電容才OK。今天看了這個好像明白了一點。謝謝分享。

quan6658	2025-08-30 16:40
ouyuu:是哪家的離子源，不同廠家的離子源加速極位置不一樣。 2&:nHZ) 有照片最好發(fā)一下，有可能是打火。 ;z9U_ 柵網(wǎng)之間位置過近或者孔位偏差會造成打火。 4x" je 有可能是沒裝好，也有可能是本身柵網(wǎng)的問題。 (2025-08-23 17:57)