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infotek 2025-10-15 08:02

VirtualLab Unity應(yīng)用:激光諧振腔高反射膜

摘要 n7YEG-J  
在本案例中,針對Nd:YAG激光器的諧振腔,我們基于λ/4膜堆結(jié)構(gòu),通過理論分析確定了的初始膜系設(shè)計;同時利用電場分布分析對膜層結(jié)構(gòu)進行優(yōu)化,使得在滿足高反射率要求的同時,薄膜整體的激光損傷閾值得到了顯著提高。
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應(yīng)用場景 KB!|B.ChN(  
1064nm是Nd : YAG激光器常用的光譜線。為適應(yīng)激光波長漂移及不同激光模式的需求,必須在中心波長附近保持約20nm的寬帶高反射性能。本案例中,我們通過理論計算確定了基于1/4波長膜堆結(jié)構(gòu)的周期數(shù) 𝑚,確保在1064nm ±20nm范圍內(nèi)的反射率均大于99.5%。此外,借助電場工具,對膜層結(jié)構(gòu)進一步調(diào)整,從而提升薄膜整體的激光損傷閾值。
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設(shè)計結(jié)果
  
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設(shè)計結(jié)果如上圖所示,在 1064nm ± 20nm 帶寬范圍內(nèi),平均反射率達 99.514% ?`Y\)'}   
設(shè)計流程
  
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盡管金屬或金屬+介質(zhì)膜可用于高反射膜,但由于金屬存在熱吸收且反射率有限。而高功率激光器對反射鏡要求極高,需盡可能接近100%反射率并最小化吸收損耗。因此,必須采用全電介質(zhì)膜堆以降低吸收并提高反射率。 ?P7]u>H  
通過向量法或?qū)Ъ{軌跡法可以證明在基板中鍍高低折射率交替的多層1/4波長膜堆可獲得極高的反射率。反射率公式為:
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應(yīng)用該公式,為了使反射率要到達99.5%,周期數(shù)m至少需為8.
  
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