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銀內(nèi)反反射率上不去
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bilong
2025-10-17 15:46
銀內(nèi)反反射率上不去
請教各位大佬,銀內(nèi)反,要求420-680nm平均反射大于95,絕對反射大于91,實際只能達(dá)到平均94,420最低只有88%,新科隆機(jī)臺,射頻離子源,加工溫度90度,請問是工藝問題,還是膜厚問題,該怎么調(diào)整?
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